扬州动平衡仪扬州测振仪扬州振动分析仪

激光干涉仪作为现代精密测量仪器的代表，在精密制造、计量等各个行业领域中得到了广泛的应用，在精密位移、直线度、垂直度等测量领域发挥着重要的作用。什么是决定激光干涉仪测量精度的关键因素？

苏州激光干涉仪简介

激光干涉仪以光波为载体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、最高测速下分辨率高等特点，其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此，激光干涉仪广泛应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、高端设备制造等领域。

SJ6000激光干涉仪

‍激光干涉仪的用途

SJ6000激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。

SJ6000激光干涉仪检测数控机床精度

SJ6000激光干涉仪检测三坐标精度

SJ6000激光干涉仪检测自动化设备精度

SJ6000激光干涉仪检测线性模组精度

激光干涉仪的工作原理

激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，最后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

激光输出可视为一束正弦波，如下图：

当高压连接在阳极和阴极之间时，混合气体被激发，形成激光光束，通过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其中，为实现平衡状态，通过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内，此时稳定输出后，激光器即可进行干涉测量。如今大多数现代位移干涉仪都使用氦氖(HeNe)激光管，这些激光管具有633纳米的波长输出。

激光器的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量及寿命等指标参数，都关系着激光干涉仪的最终性能。其中激光频率是激光干涉仪最基本的参数，其频率（波长）的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保证。